陶瓷压力传感器芯片数据采集装置

摘要

本实用新型涉及一种陶瓷压力传感器芯片数据采集装置。现有技术缺乏可同时采集多个陶瓷压力传感器芯片的温漂误差的设备和技术。为此，本实用新型包括多个托盘、测试治具架和组合式数据采集模块，所述测试治具架包括M层托板，其中每层托板上均设有托盘定位装置，每层托板上设有一个治具盘，治具盘或托板配有升降驱动装置，每个治具盘上设有N个探针组，所述托盘上设有N个固定位，每个探针组包括多个探针，对应其下方的托盘一个固定位，每个探针组分别接组合式数据采集模块接口，其中M、N均为正整数。本实用新型具有结构简单、便于大规模测量温漂误差的优点，测量精准，效率高，成本低，是现有陶瓷压力传感器生产企业技术、设备升级换代的必备武器。

主权项

一种陶瓷压力传感器芯片数据采集装置，其特征在于：包括多个托盘、测试治具架和组合式数据采集模块，所述测试治具架包括M层托板，其中每层托板上均设有托盘定位装置，每层托板上设有一个治具盘，治具盘或托板配有升降驱动装置，每个治具盘上设有N个探针组，所述托盘上设有N个固定位，每个固定位均配有限位柱或限位凸起，陶瓷压力传感器芯片放置在固定位上，由限位柱或限位凸起定位固定，每个探针组包括多个探针，对应其下方的托盘一个固定位，每个探针组分别接组合式数据采集模块接口，其中M、N均为正整数。