发明名称 一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装
摘要 本实用新型公开了一种操作简单,可保证钟罩的质量的薄膜机上的钟罩的真空测漏工装,包括底板、外挡板、下密封圈、中密封圈、中挡板、上密封圈及上挡板。底板的表面开设一充气孔,该底板的上表面开设一内环槽和一外环槽;外挡板为中空板且内径与底板上的外环槽的外径适配,该外挡板安装在底板的上表面;下密封圈和中密封圈一一对应地嵌入外环槽和内环槽中;中挡板的表面开设一通孔且外径在外环槽的内径和内环槽的外径之间,该中挡板的上表面开设一上环槽,该中挡板安装在底板的上表面;上密封圈嵌入中挡板的上环槽中;上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与中挡板的外径和上环槽的内径适配,该上挡板安装在中挡板的上表面。
申请公布号 CN203503627U 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201320516440.3 申请日期 2013.08.22
申请人 上海科秉电子科技有限公司 发明人 杨苏圣
分类号 H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人 黄美英
主权项 一种薄膜机上的钟罩的真空测漏工装,包括一底板、一外挡板、一下密封圈、中密封圈、一中挡板、上密封圈及一上挡板,其特征在于,所述底板呈矩形且表面中央开设一充气孔,该底板的上表面与所述充气孔同轴地开设一内环槽和一外环槽;所述外挡板为一外形呈与所述底板的外形适配的中空板,该外挡板的内径与所述底板上的外环槽的外径适配,该外挡板与所述底板上的外环槽同轴地安装在所述底板的上表面;所述下密封圈和中密封圈一一对应地嵌入所述底板的外环槽和内环槽中;所述中挡板为一圆形板并且表面中央开设一与所述底板上的充气孔相同的通孔,该中挡板的外径在所述底板上的外环槽的内径和内环槽的外径之间,该中挡板的上表面与所述通孔同轴地开设一与所述底板上的内环槽对应的上环槽,该中挡板与所述底板上的充气孔同轴地安装在所述底板的上表面;所述上密封圈嵌入所述中挡板的上环槽中;所述上挡板为一圆环板且外径和内径一一对应地与所述中挡板的外径和所述上环槽的内径适配,该上挡板与所述中挡板同轴地安装在所述中挡板的上表面。
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