发明名称 闸流管充气系统
摘要 本发明公开了一种闸流管充气系统,包括置于密封腔内的闸流管,所述闸流管通过管道连通一储氢罐,且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀;所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器,在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀;在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀;所述储氢罐上设有第一薄膜真空计;所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。该闸流管充气系统,可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。
申请公布号 CN103681167A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201210332971.7 申请日期 2012.09.11
申请人 昆山国力真空电器有限公司 发明人 黄俊杰
分类号 H01J9/395(2006.01)I 主分类号 H01J9/395(2006.01)I
代理机构 昆山四方专利事务所 32212 代理人 盛建德
主权项 一种闸流管充气系统,包括置于密封腔(1)内的闸流管(2),其特征在于:所述闸流管通过管道连通一储氢罐(5),且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀(3)和充氢微调阀(4);所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器(9),在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀(6)、第一隔离阀(7)和第一储氢阀(8);在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀(10)和清空阀(11);所述储氢罐上设有第一薄膜真空计(12);所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计(13)。
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