吸引夹持器及具备其的移载装置

摘要

本发明提供简单地构成了对各喷嘴的压缩空气的供给通道的吸引夹持器。吸引夹持器具备具有与工件相对的相对面（31）的平板状的主体。在主体上形成从相对面（31）喷出气体的多个吸引单元、对各吸引单元提供压缩空气的供给通道、以及沿厚度方向贯穿主体的多个排气孔。每个吸引单元具备具有在相对面（31）上开口的圆形喷出口（41）的圆柱状空间（45）、在圆柱状空间（45）的内周壁上开口的多个喷嘴（44）。供给通道具备将压缩空气分配给多个喷嘴（44）的每一个的分配通道（62）以及给分配通道（62）提供压缩空气的共同供给通道（47）。并且，吸引单元、分配通道（62）及共同供给通道（47）被形成在相互不同的金属板上。

主权项

一种吸引夹持器，具备平板状的主体，该平板状的主体具有与工件相对的相对面；在上述主体上形成有：从上述相对面喷出气体的多个吸引单元、对各吸引单元提供上述气体的供给通道、以及沿厚度方向贯穿上述主体的多个排气孔；其特征在于，每个上述吸引单元具备：具有在上述相对面上开口的圆形喷出口的圆柱状空间，以及在上述喷出口的内周壁上开口的多个喷嘴；上述供给通道具备：将上述气体分配给上述多个喷嘴的每一个的分配通道，以及给上述分配通道提供上述气体的共同供给通道；上述吸引单元、上述分配通道及上述共同供给通道被形成在上述主体的厚度方向上的不同位置上。