一种涂布系统以及在该涂布系统中涂布基底的方法

摘要

本发明涉及一种涂布系统以及在该涂布系统中涂布基底的方法。该涂布系统包括真空腔室以及位于该真空腔室内的涂布组合件。该涂布组合件包括：蒸气源，该蒸气源将待涂布的材料提供到基底上；用于固持待涂布的基底的基底固持器，使得基底位于蒸气源的前方；阴极腔室组合件；以及远程阳极。该阴极腔室组合件包括阴极、可选的初级阳极以及屏蔽物，该屏蔽物将阴极与真空腔室隔离。该屏蔽物界定用于将电子发射电流从该极传输到真空腔室中的开口。该蒸气源位于阴极与远程阳极之间，而远程阳极耦合到阴极。该涂布系统还包括连接在阴极与初级阳极之间的初级电源以及连接在阴极腔室组合件与远程阳极之间的次级电源。

主权项

一种涂布系统，其包括：真空腔室；和涂布组合件，其包括：蒸气源；基底固持器，其用于固持待涂布的基底，使得所述基底位于所述蒸气源的前方；阴极腔室组合件，所述阴极腔室组合件包括阴极靶材、可选的初级阳极以及屏蔽物，所述屏蔽物将所述阴极靶材与所述真空腔室隔离，所述屏蔽物界定用于将电子发射电流从所述阴极靶材传输到所述真空腔室中的开口；远程阳极，所述远程阳极电气地耦合到所述阴极靶材；初级电源，所述初级电源连接在所述阴极靶材与所述初级阳极之间；以及次级电源，所述次级电源连接在所述阴极靶材与所述远程阳极之间，所述蒸气源位于所述阴极腔室组合件与所述远程阳极之间，所述远程阳极具有线性的远程阳极尺寸，所述蒸气源具有线性的蒸气源尺寸，所述阴极靶材具有线性的阴极靶材尺寸，并且所述基底固持器具有线性的固持器尺寸，使得所述线性的远程阳极尺寸、所述线性的蒸气源尺寸、所述线性的阴极靶材尺寸，以及所述线性的固持器尺寸彼此类似，其中所述线性的远程阳极尺寸等于或大于所述线性的阴极靶材尺寸和所述线性的蒸气源尺寸，使得受到约束的等离子体从所述阴极靶材流到所述远程阳极。