发明名称 |
一种改善探针卡扎针效果的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种改善探针卡扎针效果的方法,其中,调整探针卡的探针的排列方向后在探针垫上扎针形成针痕,使所述针痕滑移的方向与所述探针垫的中心点到边的垂直线之间存在夹角。本发明具有如下优点或者有益效果:通过调整探针卡探针的排列方向,使得针痕滑移的方向沿与探针垫的中心点到边的垂直线形成一定角度的方向或者探针垫的对角线的方向滑移,可以有效地增加针痕滑移范围,降低了扎针针痕不良的风险,进而提高WAT测试效率。 |
申请公布号 |
CN103675368A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310506730.4 |
申请日期 |
2013.10.23 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
代瑞娟;莫保章;席与凌 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种改善探针卡扎针效果的方法,其特征在于,调整探针卡的探针的排列方向后在探针垫上扎针形成针痕,使所述针痕滑移的方向与所述探针垫的中心点到边的垂直线之间存在夹角。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |