金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘的清洁装置及其方法

摘要

本发明公开了一种金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘清洁装置及其方法，清洁毛刷安装板4安装到旋转电机5的旋转轴上，清洁毛刷8固定安装于清洁毛刷安装板4上，清洁毛刷安装板4安装于清扫废物收集盘3内，抽气管路6一端与清扫废物收集盘3连接，另一端与抽气装置7连接。清洁装置与喷淋盘外形相似、大小相同，在清洁喷淋盘时，不需要打开MOCVD设备的手套箱，能够对喷淋盘进行整体式的清洁，清洗废物落入清洁装置的废物收集盘中，由抽气装置吸走排出，清洁喷淋盘的这一操作过程可以成为薄膜生长工艺过程的一个标准步骤，从而保证了每一次生长的可重复性。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘的清洁装置，主要包括密封圈(2)，清扫废物收集盘（3），清洁毛刷安装板（4），旋转电机（5），抽气管路（6），抽气装置(7)，清洁毛刷（8），其特征是：清洁毛刷安装板(4)安装到旋转电机（5）的旋转轴上，清洁毛刷（8）固定安装于清洁毛刷安装板(4)上，清洁毛刷安装板（4）安装于清扫废物收集盘（3）内，抽气管路(6)一端与清扫废物收集盘（3）连接，另一端与抽气装置（7）连接。