发明名称 长导轨直线度测量装置
摘要 一种长导轨直线度测量装置,包括测量头、角锥镜装置和计算机;测量头包括激光器,依次排列在激光器出射光路上的第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和窗口玻璃,位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、窄带滤光片、光电位置传感器、信号处理电路和数据采集卡;角锥镜装置主要由角锥镜、固定角锥镜的可调机构和定位驱动机构组成;通过USB方式与数据采集卡相连接的计算机,用于计算并实时显示位置信息;本发明可测量超长导轨直线度,具有测量简单,使用方便,成本低等特点。
申请公布号 CN103673933A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201310628029.X 申请日期 2013.11.29
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 杨宝喜;李璟;胡小邦;侯莉颖;黄立华;黄惠杰
分类号 G01B11/27(2006.01)I 主分类号 G01B11/27(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯
主权项 一种长导轨直线度的测量装置,其特征在于该装置包括测量头、角锥镜装置和计算机,所述的测量头包括激光器,沿该激光器的激光输出光路上依次是第一反射镜、第二反射镜、第一激光准直扩束镜、光阑、第三反射镜、分光镜和测量头的窗口玻璃,位于测量光路上的第二激光准直扩束镜、窄带滤光片、光电位置传感器、信号处理电路和数据采集卡,所述的角锥镜装置由角锥镜、固定角锥镜的调节机构和定位驱动机构组成,测量时,所述的测量头和计算机固定在待测长导轨的一端之外,所述的角锥镜装置放置在待测长导轨的另一端上,所述的测量头的数据采集卡通过USB电缆与所述的计算机的输入端连接。
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