光罩装置

摘要

本发明公开了一种光罩装置，包括光罩和设于所述光罩表面的保护薄膜，所述光罩装置还包括：嵌入于所述光罩的第一边框；以及设于所述保护薄膜表面且与所述第一边框相适配的第二边框；所述第一边框和第二边框通过磁力相互吸引以使所述保护薄膜贴合于所述光罩表面。本发明利用通过磁力相互吸引的第一边框和第二边框使得保护薄膜贴合于光罩表面，进而在进行光罩的重装时，简化了保护薄膜的拆卸过程，并且不会产生胶残留，简化了光罩的清洗过程，缩短了光罩重装的制程周期，并且不会在光罩表面产生硫酸根离子的残留，进而降低了产生haze的几率，同时也减小了光罩重装过程中的相位衰减，进而延长了光罩重装的次数和周期以及光罩的使用寿命。

主权项

一种光罩装置，包括光罩和设于所述光罩表面的保护薄膜，其特征在于，所述光罩装置还包括：嵌入于所述光罩的第一边框；设于所述保护薄膜表面且与所述第一边框相适配的第二边框；所述第一边框和第二边框通过磁力相互吸引以使所述保护薄膜贴合于所述光罩表面。