流化床反应器系统及减少硅沉积在反应器壁上的方法

摘要

流化床反应器的气体分布单元构造为将可热分解的化合物引向反应器的中心部分并远离反应器壁，以便防止材料沉积到反应器壁上，并且，用于在反应器中生产多晶硅产品的方法减少了沉积在反应器壁上的硅的量。

主权项

一种用于在反应器中生产多晶硅产品的方法，该反应器包括反应室和分布器，所述分布器用于将气体均匀地分布到反应室中，所述反应室包括至少一个反应室壁，所述分布器包括提供在两个气体源和反应室之间的流体连通的多个分布开口，每个分布开口具有通道部和扩口部以及设置在所述通道部和扩口部之间的节流部，所述多个分布开口包括多个周边开口和多个中心开口，所述方法包括：将运载气体和可热分解的硅化合物从气体源经由分布器的分布开口进给并送到反应室中，其中，在经由周边开口进给的气体中的运载气体的浓度超过经由中心开口进给的气体中的运载气体的浓度以便减少沉积在反应器壁上的硅的量，其中所述气体通过分布开口的通道部和节流部以及扩口部；和使硅粒子在反应室中与可热分解的硅化合物接触，以使硅沉积到硅粒子上并增加粒度。