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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Maske für die Fertigung von Halbleiter-Schaltelementen
摘要
申请公布号 CH447396(A) 申请公布日期 1967.11.30
申请号 CH19670000434 申请日期 1967.01.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 EUGENE HARDING,WILLIAM;ANTHONY PERRI,JOHN;RISEMAN,JACOB;SCOTT RUDER,WINFIELD
分类号 G03B27/32;G03B19/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L7/64 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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