制备多晶硅的设备

摘要

本实用新型公开了一种用于制备多晶硅的设备，该设备包括：氯氢化合成反应装置、第一精馏纯化装置、歧化反应装置、第二精馏纯化装置和热解反应装置，所述第一精馏纯化装置与所述氯氢化合成反应装置相连，所述歧化反应装置与所述第一精馏纯化装置相连，所述第二精馏纯化装置与所述歧化反应装置相连，所述热解反应装置与所述第二精馏纯化装置相连。利用该设备能够有效地制备获得电子级多晶硅，并且该设备涉及的工艺简单、安全、节能环保、成本低，且生产的多晶硅纯度高，产生的尾气和废渣能够达到环保要求，为电子级多晶硅清洁生产工艺。

主权项

一种用于制备多晶硅的设备，其特征在于，包括： 用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得氯氢化合成反应产物的氯氢化合成反应装置； 用于对所述氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理，以便获得三氯氢硅和第一精馏残液的第一精馏纯化装置，所述第一精馏纯化装置与所述氯氢化合成反应装置相连； 用于使所述三氯氢硅发生歧化反应，以便获得歧化反应产物的歧化反应装置，所述歧化反应装置与所述第一精馏纯化装置相连； 用于对所述歧化反应产物进行第二精馏纯化处理，以便获得硅烷气体和四氯化硅的第二精馏纯化装置，所述第二精馏纯化装置与所述歧化反应装置相连；以及 用于使所述硅烷气体发生热解反应，以便获得多晶硅的热解反应装置，所述热解反应装置与所述第二精馏纯化装置相连。