发明名称
摘要
申请公布号 NL6708532(A) 申请公布日期 1967.12.22
申请号 NL19670008532 申请日期 1967.06.20
申请人 发明人
分类号 H01J29/45;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/322;H01L27/00;H01L29/00 主分类号 H01J29/45
代理机构 代理人
主权项
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