| 发明名称 | 包含多种生酸剂化合物的光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 包含多种生酸剂化合物的光致抗蚀剂。本发明涉及新的光致抗蚀剂组合物，其包括(a)包含与其相连的生酸剂的聚合物；和(b)并不与聚合物相连的且包含一个或多个酸不稳定性基团的生酸剂化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103676478A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201310637229.1 | 申请日期 | 2013.09.16 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | J·W·撒克里;成镇旭;P·J·拉宝美;V·简恩 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂包括：(a)包含与其相连的生酸剂的聚合物；和(b)并不与聚合物相连的且包含一个或多个酸不稳定性基团的生酸剂化合物。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||