发明名称 |
蒸发装置及应用该蒸发装置的真空蒸镀机 |
摘要 |
本发明提供一种蒸发装置,包括一蒸发舟、导气装置及气源通道,该蒸发舟容置于该导气装置内且该蒸发舟与导气装置之间形成一气体容置空间;所述气源通道的一端与该导气装置连接,并与该气体容置空间连通,以向气体容置空间中通入气体;所述蒸发舟包括一第一底壁、由该第一底壁的周缘延伸形成的侧壁及由该第一底壁与该侧壁围成的容置槽,该侧壁上开设有若干通气孔,所述通气孔与该气体容置空间相连通。本发明还提供了应用该蒸发装置的电子装置。 |
申请公布号 |
CN103668077A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201210339847.3 |
申请日期 |
2012.09.14 |
申请人 |
深圳富泰宏精密工业有限公司 |
发明人 |
曹达华;李彬 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种蒸发装置,包括一蒸发舟,其特征在于:该蒸发装置还包括导气装置及气源通道,该蒸发舟容置于该导气装置内且该蒸发舟与导气装置之间形成一气体容置空间;所述气源通道的一端与该导气装置连接,并与该气体容置空间连通,以向气体容置空间中通入气体;所述蒸发舟包括一第一底壁、由该第一底壁的周缘延伸形成的侧壁及由该第一底壁与该侧壁围成的容置槽,该侧壁上开设有若干通气孔,所述通气孔与该气体容置空间相连通。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园F3区A栋 |