发明名称 晶片封装体及其形成方法
摘要 本发明提供一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一感测层,设置于该基底的该第一表面上,其中该感测层具有一感测区;一导电垫结构,设置于该基底上,且电性连接该感测区;一间隔层,设置于该基底的该第一表面之上;一半导体基底,设置于该间隔层之上,其中该半导体基底、该间隔层、及该基底共同于该感测区上围出一空腔;以及一穿孔,自该半导体基底的一表面朝该基底延伸,其中该穿孔连通该空腔。本发明可显著缩减晶片封装体的尺寸,大量生产晶片封装体,并可降低制程成本与时间。
申请公布号 CN103681537A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201310445673.3 申请日期 2013.09.25
申请人 精材科技股份有限公司 发明人 黄郁庭;刘沧宇
分类号 H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L23/31(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇
主权项 一种晶片封装体,其特征在于,包括:一基底,具有一第一表面及一第二表面;一感测层,设置于该基底的该第一表面上,其中该感测层具有一感测区;一导电垫结构,设置于该基底上,且电性连接该感测区;一间隔层,设置于该基底的该第一表面之上;一半导体基底,设置于该间隔层之上,其中该半导体基底、该间隔层及该基底共同于该感测区上围出一空腔;以及一穿孔,自该半导体基底的一表面朝该基底延伸,其中该穿孔连通该空腔。
地址 中国台湾桃园县中坜市中坜工业区吉林路23号9F