可连续生产的区熔炉装置

摘要

本实用新型涉及晶体生长炉领域，旨在提供可连续生产的区熔炉装置及其工艺控制方法。该可连续生产的区熔炉装置包括炉体、炉室法兰、直线单元、连接块、旋转单元和切割片；该可连续生产的区熔炉装置的工艺控制方法包括籽晶与熔融硅液熔接拉制出硅单晶。本实用新型在硅单晶生长过程中，需重新开始下一次单晶生长时，本实用新型可对硅单晶进行切除，迅速重新进行下一次单晶生长，可实现连续生产，节省大量氩气、电能、工时，降低生产成本，并提高单晶生产效率。

主权项

可连续生产的区熔炉装置，包括炉体，其特征在于，还包括炉室法兰、直线单元、连接块、旋转单元和切割片；所述直线单元包括固定座和活动杆，固定座与炉室法兰固定，活动杆一端与固定座连接，另一端穿过炉室法兰并能沿着直线单元轴线方向进行直线伸缩运动，活动杆与炉室法兰之间设有密封，炉室法兰与炉体固定；所述旋转单元通过连接块与活动杆连接，用于通过活动杆的直线伸缩运动进行旋转运动，切割片依次连接连接块和旋转单元，旋转单元带动切割片进行旋转运动，切割片用于切割硅单晶。