用于确定粒子-光学仪器中畸变的方法

摘要

本发明涉及一种确定TEM的投影系统中的畸变的方法，以及一种用于校正这些像差的方法。所述像差是通过收集样品的大量的像进行确定的，所述样品在每一次像的获取之间被稍微移动。在这些像上将显示样品相同部分的子场(303，304-i)进行比较。这些子场(303，304-i)将显示一些对应于微分像差的小的差别。这样能够确定在大量的点中的所述微分像差，此后通过积分能够确定每一个点的像差。最后对像中每一个被探测像素的要被显示的位置进行校正，显示的像具有大大降低的像差。根据本发明的方法的优点在于不需要样品的高精度步长，也不需要知道样品的几何形状。

主权项

确定粒子‑光学仪器中畸变的方法，所述仪器配备有：粒子源，其用于产生沿着粒子‑光学轴方向的粒子束；用于保持对象的对象保持器，所述对象保持器能够移动被放置在所述对象保持器中的对象；投影系统，其用于形成所述对象的像；以及探测器，其用于获取和存储所述对象的像；所述方法包括：提供对象；获取第一个像(300)；以及确定所述畸变；所述方法的特征在于：在所述第一个像中限定子像(303)，第一个子像显示所述对象的小部分；获取一系列的像(310)，在每一次获取之间移动所述对象；确定在所述像之间已实现的移动；在所述像的每一个中识别显示所述对象的小部分的子像(304‑i)；确定所述子像中的每一个相对于彼此的子像畸变；以及将所述子像中的每一个的所述子像畸变用于确定所述像的畸变。