液体排出头基板的制造方法和基板的加工方法

摘要

一种液体排出头基板的加工方法，包括：提供所述基板的步骤，以及通过向所述基板的背表面排出线状的液体，并且通过用沿着所述液体并且在所述液体中通过的激光来加工所述基板的背表面，在所述基板的背表面处设置凹陷部的步骤。

主权项

一种液体排出头基板的制造方法，所述液体排出头基板包括：基板，在其一个表面处具有能量产生元件，所述能量产生元件产生排出液体所用的能量；以及液体供应端口，其延伸穿过所述基板的所述一个表面并且穿过所述基板的另一个表面，所述另一个表面被设置在所述一个表面的背面侧，所述方法包括如下步骤：通过向所述基板的所述另一个表面排出线状的液体，并且通过用沿着所述线状的液体并且在所述线状的液体中通过的激光来加工所述另一个表面，在所述基板的所述另一个表面中设置凹陷部；以及通过从设置有所述凹陷部的所述另一个表面蚀刻所述基板，形成所述液体供应端口，其中，形成在所述另一个表面处设置有金属层的所述基板，所述金属层具有开口，并且，利用激光通过所述开口的内部来加工所述另一个表面。