用于分析基底的表面的装置

摘要

本发明涉及一种用于分析基底(2)的透明表面或镜面表面的装置(1)，其包括面对待测量的基底的表面的参考图案(10)、用于捕捉由测量的基底扭曲的参考图案的至少一个图像的摄像机(3)、与所述摄像机(3)连接的参考图案照明系统(4)和图像处理和数字分析装置(5)。根据本发明，摄像机(3)是矩阵摄像机，参考图案(10)置于具有长形形状的支撑件(11)上并且是双向的，包括沿着第一方向和沿着所述基底的最小尺度布置的第一图案(10a)以及沿着垂直于所述第一图案的第二方向且沿着所述支撑件的最大尺度布置的第二图案(10b)，其中所述第一图案横向于所述最小尺寸呈周期性。

主权项

用于分析基底（2）的透明表面或镜面表面的装置（1），所述装置（1）包括面对待测量的基底的所述表面并且置于具有短尺度和长尺度的支撑件（11）上的参考图案（10）、用于捕捉由测量的基底扭曲的参考图案的至少一个图像的摄像机（3）、与所述摄像机（3）连接的参考图案照明系统（4）和图像处理/数字分析装置（5），其特征在于，所述支撑件（11）具有长形形状，并且所述参考图案是双向的，包括沿着第一方向且沿着所述支撑件的短尺度布置的第一图案（10a）以及沿着垂直于所述第一图案的第二方向且沿着所述支撑件的长尺度布置的第二图案（10b），其中所述第一图案横向于所述短尺度呈周期性，并且所述摄像机是矩阵摄像机，所述第一图案和所述第二图案彼此不同、彼此紧邻并且彼此不相交。