一种消除由于串扰引起光斑质心偏移的方法

摘要

本发明提供一种消除由于串扰引起光斑质心偏移的方法，该方法利用串扰矩阵来表征多像素光斑质心探测器的串扰特性，将多像素光斑质心探测器输出的受串扰影响的光强阵列信号左乘上串扰矩阵的逆矩阵，从而得到解串扰后光强分布信号，再利用解串扰后光强分布信号计算得到光斑质心，与传统的直接利用受串扰影响的信号计算光斑质心的方法相比，本发明可以去除由于串扰引起的光斑质心偏移，从而提高光斑质心的探测精度。

主权项

一种消除由于串扰引起光斑质心偏移的方法，其特征在于：首先通过串扰率的测试装置测量得到像素间的串扰率，然后将像素间的串扰率排列成表征探测器的串扰特性的串扰矩阵，最后在计算光斑质心前，先将探测器输出的信号左乘上串扰矩阵的逆矩阵，从而还原出不受串扰影响的光强分布信号，再利用不受串扰影响的光强分布信息计算光斑质心，则可以去除由于串扰引起的光斑质心偏移，提高光斑质心的探测精度；所述的串扰矩阵是到达的真实信号与探测输出信号之间的桥梁，首先给每个像素编号，当探测器上有m×n个像素时，像素的编号为1～l,l＝m×n；然后测量每两个像素之间的串扰率cij；最后将测量得到的串扰率排列成如下矩阵形式： C = 1 c 12 c 13 . . . c 1 l c 21 1 c 23 . . . c 2 l c 31 c 32 1 . . . c 3 l . . . . . . . . . . . . . . . c l 1 c l 2 c l 3 . . . 1 串扰矩阵C中的元素cij的物理意义为：当第j号像素上真实的信号为Pj时，第i号像素上由于串扰而产生的信号为cij·Pj。