在衬底上印刷图案的方法和设备

摘要

本发明包括用于在衬底上印刷图案的方法和设备。所述方法包括：采集具有多个印刷轨迹的衬底表面的图像；以及识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置。所述方法进一步包括：通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数执行后续印刷操作。所述设备包括至少一个检查单元和计算机可读介质，所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于印刷的方法的指令，所述方法包含：（i）识别印刷轨迹部分的位置；（ii）通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及（iii）基于调整参数执行后续印刷操作。

主权项

一种在衬底上印刷图案的方法，所述方法包含：采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的所述衬底的表面区域的图像；借助于所述图像识别在所述多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的位置；通过比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于所述调整参数执行后续印刷操作。