一种具有金属流密封结构的压阻式传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有金属流密封结构的压阻式传感器及其制造方法，包括基座，基座包括软金属连接体和硬金属压力座，软金属连接体的前端设有第一引压源孔及阶梯孔，后端设有内腔，硬金属压力座内设有第二引压源孔，第二引压源孔靠近内腔的底端形成有封闭第二引压源孔的弹性受压面，弹性受压面背面安装有传感头，硬金属压力座上靠近弹性受压面的一端设有与阶梯孔形成径向空隙分隔的分隔部，另一端设有阶梯轴，阶梯轴的小直径端的外周壁上开设有密封环槽，硬金属压力座压入阶梯孔内，阶梯轴上的阶梯端面推挤阶梯孔的台阶面迫使阶梯孔的小孔内壁塑性变形并流入密封环槽而实现密封和承压。本发明有效阻隔了应力传递，提高了测量精度。

主权项

一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，包括传感头（1）和基座，其特征在于：所述基座包括软金属连接体（2）和具有弹性的硬金属压力座（3），软金属连接体（2）的前端开设有供外部流体流入的第一引压源孔（21）及与第一引压源孔（21）连通的用于安装硬金属压力座（3）的阶梯孔（22），软金属连接体（2）的后端设有与阶梯孔（22）连通的内腔（23），所述硬金属压力座（3）内开设有与第一引压源孔（21）连通的第二引压源孔（31），第二引压源孔（31）靠近内腔（23）的底端形成有封闭第二引压源孔（31）的弹性受压面（32），弹性受压面（32）背面安装有传感头（1），所述硬金属压力座（3）上靠近弹性受压面（32）的一端设置有用于与阶梯孔（22）形成径向空隙分隔的分隔部（33），硬金属压力座（3）上远离弹性受压面（32）的一端设置有与阶梯孔（22）配合的阶梯轴（34），阶梯轴（34）的小直径端（341）的外周壁上开设有密封环槽（35），所述硬金属压力座（3）压入阶梯孔（22）内，阶梯轴（34）上的阶梯端面（343）推挤阶梯孔（22）的台阶面（223）迫使阶梯孔（22）的小孔（221）内壁塑性变形并导向流入密封环槽（35）而实现密封和承压。