发明名称 |
化学气相沉积设备的基材保持器 |
摘要 |
本发明涉及一种基材保持器(6),其在用于处理半导体基材的设备(1)的处理室(4)中使用,该基材保持器具有平的上侧面(5),在所述上侧面中具有至少一个用于容纳基材的凹陷(12),其中,所述凹陷(12)具有底面(13)和环形封闭的壁(14),具有多个从壁(14)向凹陷内突伸的突起(15),所述突起构成用于支撑基材的边缘段的支撑面(19),其中,凹陷(12)的所有的支撑面(19)位于一个公共的平面(E)内,该平面在穿过底面(13)的最高抬升的平面(12)上方延伸,并且在上侧面(5)下方延伸。在对于上侧面的俯视图中,壁(14)应该分别在突起(15)的区段(16)内直线状延伸。设有多个在圆周方向上彼此间隔开的距离元件,用以对放置在凹陷(12)内的基材(24)定中心。这些距离元件应该由壁(14)的俯视上侧面(5)时呈直线状延伸的区段(16)构成。 |
申请公布号 |
CN103668124A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310631567.4 |
申请日期 |
2013.09.24 |
申请人 |
艾克斯特朗欧洲公司 |
发明人 |
J·穆尔德 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
侯宇 |
主权项 |
基材保持器(6),其在用于处理半导体基材的设备(1)的处理室(4)中使用,所述基材保持器具有平的上侧面(5),在所述上侧面中具有至少一个用于容纳接收基材的凹陷(12),其中,所述凹陷(12)具有底面(13)和环形封闭的壁(14),具有多个从壁(14)向凹陷内突伸的突起(15),所述突起构成用于支撑基材的边缘段的支撑面(19),其中,凹陷(12)的所有的支撑面(19)位于一个公共的平面(E)内,该平面在通过底面(13)的最高抬升部的平面(20)上方延伸,并且在上侧面(5)下方延伸,其特征在于,在对于上侧面的俯视图中,所述壁(14)分别在突起(15)的区段(16)内直线状延伸。 |
地址 |
德国黑措根拉特 |