InAlN材料的酸碱交替选择湿法腐蚀方法

摘要

本发明公开了InAlN材料的酸碱交替选择湿法腐蚀方法，涉及半导体器件或部件的制造或处理技术领域，包括以下步骤：（1）碱性腐蚀液腐蚀InxAlN：将待腐蚀InxAlN晶圆片用碱性腐蚀液腐蚀，碱性腐蚀液为能腐蚀InxAlN材料的碱性溶液，0≤x＜1；（2）酸性腐蚀液清洗颗粒状残余物：用酸性腐蚀液腐蚀InxAlN晶圆片，0≤x＜1；（3）按先步骤（1）后步骤（2）的顺序或先步骤（2）后步骤（1）的顺序循环至达到腐蚀要求，循环结束于步骤（1）或步骤（2）。本发明解决了现有技术中湿法化学选择腐蚀去除InxAlN层时表面粗糙、有残留的工艺问题，实现高质量的选择腐蚀。

主权项

InAlN材料的酸碱交替选择湿法腐蚀方法，其特征在于包括以下步骤：（1）碱性腐蚀液腐蚀：将待腐蚀InAlN晶圆片用碱性腐蚀液腐蚀，碱性腐蚀液为能腐蚀InAlN材料的碱性溶液；（2）酸性腐蚀液清洗颗粒状残余物：用酸性腐蚀液腐蚀InAlN晶圆片，酸性腐蚀液为HCl、HF、H3PO4或HNO3的水溶液；（3）按先步骤（1）后步骤（2）的顺序或先步骤（2）后步骤（1）的顺序循环至达到腐蚀要求，循环结束于步骤（1）或步骤（2）；碱性腐蚀液腐蚀InAlN的温度T为30℃＜T≤100℃，0≤x＜1；酸性腐蚀液清洗颗粒状残余物的温度T为0℃＜T≤100℃；步骤（1）中将待腐蚀InAlN晶圆片用碱性腐蚀液腐蚀后用去离子水冲洗InAlN晶圆片，再用氮气吹干；步骤（2）中用酸性腐蚀液腐蚀InAlN晶圆片后用去离子水冲洗InAlN晶圆片，再用氮气吹干。