一种碳化硅外延生长反应室顶盖的拆卸工具

摘要

本实用新型提出了一种碳化硅外延生长反应室顶盖的拆卸工具，包括拆装头和手柄，拆装头包括固定座和连接于固定座上的定位钉，手柄与固定座连接，定位钉与手柄相互垂直。本实用新型使用时，在推动同一石墨卡环旋转时，拆装头与手柄垂直的连接角度，可使使用者最省力；定位钉的设置可在使用时将石墨卡环固定，便于拆卸；拆装头和手柄为一体成型，牢固耐用，使用寿命长；圆柱形的手柄，使得使用者在使用时方便握持，在施力时手感更加舒适。

主权项

一种碳化硅外延生长反应室顶盖的拆卸工具，包括拆装头和手柄，其特征在于：所述拆装头包括固定座和连接于固定座上的定位钉，所述手柄与所述固定座连接，所述定位钉与所述手柄相互垂直。