电容式压力传感器

摘要

本发明公开了一种高温压力感测装置和一种方法。在一些实施方式中，公开了一种包括相对于温度的内在的零点输出和值域修正的高温压力传感器。此外，本发明公开了通过使用朝向高温压力传感器的远端部定位的中间电路来改进高温性能的方法以及减小压力传感器内的热感生应力的构型。公开的实施方式也详述了减小因压力传感器内的各种寄生电容而产生的信号损失以改进信号保真度和灵敏度的方法。

主权项

一种压力传感器，包括：探测器本体，所述探测器本体包括压力可弯曲隔板端，压力可弯曲的所述隔板端由具有第一热膨胀系数的第一材料形成，所述隔板端包括第一表面，所述第一表面至少部分地限定电容器的第一部分；相对不可变形的部件，所述相对不可变形的部件由具有第二热膨胀系数的第二材料形成，所述相对不可变形的部件包括与所述第一表面间隔开的第二表面，所述第二表面至少部分地限定所述电容器的第二部分；以及中间部件，所述中间部件布置在周围区域处，所述中间部件使压力可弯曲的所述隔板端与所述相对不可变形的部件彼此隔离，所述中间部件由具有第三热膨胀系数的第三材料形成；其中，所述第三热膨胀系数小于所述第一热膨胀系数。