一种ITO镀膜生产线及生产工艺

摘要

本发明涉及ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种ITO镀膜生产线及生产工艺。ITO镀膜生产线包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；基片夹具用于装夹玻璃基片，基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带，可大大提高ITO镀膜生产效率，使得产品穿透率和阻抗特性更理想。

主权项

一种ITO镀膜生产线，其特征在于：它包括玻璃基片输送线、基片夹具、夹具机械手和真空镀膜机，真空镀膜机设置于玻璃基片输送线的右端；所述基片夹具用于装夹玻璃基片，所述基基片夹具放置在玻璃基片输送线上进行输送，夹具机械手夹持基片夹具并将基片夹具放置于真空镀膜机内；所述真空镀膜机包括有从左至右依次设置的SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室，真空镀膜机还设置有穿设所述SiO2膜真空镀膜室、ITO膜真空镀膜室、穿透率检验室和阻抗特性检验室的输送带。