一种高效低成本太阳电池扩散工艺

摘要

本发明提供了一种高效低成本太阳电池扩散工艺，是在小流量保护氮气下的多步变温扩散和退火工艺，其特征在于在小流量保护氮气下，采用了八步扩散过程，第一步为超低温进舟工艺，第二步为恒定温场工艺，第三步为变温氧化工艺，第四步为定温扩散工艺，第五步为变温扩散工艺，第六步为推结扩散工艺，第七步为变温退火工艺和第八步超低温出舟工艺。本发明提供的高效低成本太阳电池扩散工艺相比传统的恒温扩散工艺，减少了扩散工艺时间，降低了工艺气体成本，提高了扩散方阻的均匀性和重复性，优化了表面掺杂浓度和结深，改善了蓝光响应，并减少了硅片内部缺陷，提高了太阳电池的转换效率。

主权项

一种高效低成本太阳电池扩散工艺，其特征在于：该工艺由以下8个步骤组成：步骤1：进舟在设定温度730～750摄氏度下将装有硅片的石英舟推入扩散炉石英管中，并通入10000～15000ml/min的保护氮气，保护氮气为大氮；步骤2：恒定温场紧接步骤1进舟工艺后，在大氮通入的环境下保持升温，使扩散炉石英管内实际温度达到步骤1中的设定温度730～750摄氏度；步骤3：变温氧化将设定温度提高到760～780摄氏度，保持大氮环境，并通入1000～2000ml/min的氧气，并保持；步骤4：定温扩散在760～780摄氏度的大氮环境下通入1200～1500ml/min的磷源携带小氮，同时通入1000ml/min的氧气；步骤5：变温扩散将设定温度提高到810～830摄氏度，保持大氮环境，并通入1200～1500ml/min的小氮，同时通入1000ml/min的氧气；步骤6：推结扩散在810～830摄氏度的大氮环境下关闭小氮和氧气，进行沉积；步骤7：变温退火将设定温度降低到730～750摄氏度，保持大氮环境，关闭小氮和氧气，进行退火；步骤8：出舟在730～750摄氏度的大氮环境下，将装有硅片的石英舟从扩散炉中拉出。