使用具有靶特征的激光射束的透过透镜校准的激光处理系统

摘要

一种激光处理系统，用于将一工件微机械加工，包括：一激光源，以产生激光脉冲用于处理在一工件中的特征；一电流计驱动(galvo)子系统，用于沿着一处理轨迹，相对于该工件的表面，给予激光射束点位置的第一相对移动；以及一声光偏转器(AOD)子系统。该AOD子系统可以包括AOD与电光偏转器的组合。该AOD子系统可以改变该激光脉冲的强度轮廓，作为沿着颤动方向偏转位置的函数。可以使用该AOD子系统将一处理激光射束对准于工件特征。

主权项

一种用于将处理激光射束对准工件特征的方法，该处理激光射束包含用于处理该工件特征的预定波长，该方法包括以下步骤：将该处理激光射束沿着一传输路径经由一扫瞄透镜传送至一工件；以该预定波长操控该处理激光射束，而以该经操控处理激光射束经该扫瞄透镜照射该工件的一所选择区域，该选择区域包括一对准靶，其中该所选择区域大于：经由该扫瞄透镜所提供该处理激光射束的一参考激光射束点；导引该经操控处理激光射束的反射的至少一部份经由该扫瞄透镜至一摄影机，用于形成该工件的该所选择区域的影像；以及根据由该摄影机所撷取该所选择区域的影像，以判断相对于该对准靶的该参考激光射束点的位置。