多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法及其装置

摘要

本发明涉及多晶硅生产中的高沸物回收领域，目前多采用对高沸物直接水解处理，实际采用高沸物残液淋洗水解，但存在着碱液消耗量大，环境污染严重，生产成本高等问题，本发明方案采用氯硅烷高沸物和氯化氢在有机胺催化剂的作用在裂解反应塔内裂解，在常压下100-140℃进行裂解反应，此法回收效率高，可达90%以上，降低了生产成本同时具备工艺简单，操作容易等有益效果。

主权项

多晶硅生产中氯硅烷高沸物裂解回收方法，其特征为回收步骤如下：1）高沸物以100‑4000kg/h的速度连续加入裂解反应塔；2）氯化氢以4‑25Nm3/h连续进入气体预热器；3）有机胺催化剂进入预热器与氯化氢混合，然后进入裂解反应塔，有机胺催化剂的用量为高沸物质量的0.1%‑15%；4）高沸物和氯化氢在裂解反应器重发生裂解反应，反应温度为100‑140℃，压力为常压;5）裂解产物经塔顶冷凝器采出，进入产品罐；6）剩余的未反应物排入未反应物储罐。