绝缘膜被覆金属箔

摘要

在一面或两面上具有有机-无机杂化材料层的绝缘膜被覆金属箔，所述有机-无机杂化材料层含有二甲基硅氧烷和包含Si以外的金属的金属氧烷。沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向从该层的表面算起的1/4t深度处的Si的浓度［Si］1/4t，相对于沿该杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的3/4t深度处的Si的浓度［Si］3/4t，为［Si］1/4t＜［Si］3/4t，（［Si］3/4t-［Si］1/4t）/［Si］3/4t为0.02～0.23。提供金属箔，其可适用于太阳能电池基板或挠性电路基板等，具有绝缘性、耐热性、柔软性、表面平坦性，且在搬送或转装等的对基板操作的过程中，在该层的表面难以留下伤痕。

主权项

一种绝缘膜被覆金属箔的制造方法，其是具有有机‑无机杂化材料层的绝缘膜被覆金属箔的制造方法，其特征在于，将配合有聚二甲基硅氧烷和金属醇盐的液体进行涂布，所述金属醇盐具有选自Mg、Ca、Y、Al、Sn、Ti、Zr、Nb、Ta、W中的1种以上的金属，在70℃以上且210℃以下进行干燥，以30～80℃/min的升温速度升温，在250～600℃保持30～240分钟，由此沿上述有机‑无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/4t深度处的Si的浓度［Si］1/4t，相对于沿上述有机‑无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的3/4t深度处的Si的浓度［Si］3/4t具有以下的关系，［Si］1/4t＜［Si］3/4t且上述Si浓度的相对比、RSi＝［Si］3/4t‑［Si］1/4t/［Si］3/4t的值为0.02以上且0.23以下。