| 发明名称 | 一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及切削力测量技术，具体是一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器及其制备方法。本发明解决了现有测力仪体积大、测量精度和灵敏度低、结构复杂、制造成本高的问题。一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器，包括基片；基片的上表面形成有薄膜绝缘层；薄膜绝缘层的上表面形成有四个薄膜电阻栅和八个薄膜电极；其中两个薄膜电阻栅均纵向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；另外两个薄膜电阻栅均横向分布于薄膜绝缘层的上表面，且该两个薄膜电阻栅的位置关于薄膜绝缘层的宽度中心线对称；四个薄膜电阻栅的两端与八个薄膜电极一一对应连接。本发明适用于精密、超精密切削加工。 | ||
| 申请公布号 | CN103674357A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201310715719.9 | 申请日期 | 2013.12.23 |
| 申请人 | 中北大学 | 发明人 | 武文革;成云平;刘丽娟;杜晓军;李学瑞;李琦;冯霞 |
| 分类号 | G01L1/20(2006.01)I;B23Q17/09(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 山西太原科卫专利事务所 14100 | 代理人 | 朱源 |
| 主权项 | 一种嵌入刀具式的薄膜测力传感器，其特征在于：包括基片（1）；基片（1）的上表面形成有薄膜绝缘层（2）；薄膜绝缘层（2）的上表面形成有四个薄膜电阻栅（3）和八个薄膜电极（4）；其中两个薄膜电阻栅（3）均纵向分布于薄膜绝缘层（2）的上表面，且该两个薄膜电阻栅（3）的位置关于薄膜绝缘层（2）的宽度中心线对称；另外两个薄膜电阻栅（3）均横向分布于薄膜绝缘层（2）的上表面，且该两个薄膜电阻栅（3）的位置关于薄膜绝缘层（2）的宽度中心线对称；四个薄膜电阻栅（3）的两端与八个薄膜电极（4）一一对应连接；四个薄膜电阻栅（3）的上表面形成有薄膜保护层（5）；八个薄膜电极（4）均曝露于薄膜保护层（5）外；八个薄膜电极（4）的上表面各连接有一根导线（6）。 | ||
| 地址 | 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 | ||