一种对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法

摘要

本发明公开一种对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法，该方法包括：(1)使用磁控溅射技术在气体传感器四角元器件基底上溅射一层纯ZnO薄膜；(2)配制生长花状ZnO纳米棒团簇的溶液；(3)将溅射有ZnO薄膜的四角元器件基底放在所配制溶液中，在烘箱中分两步进行化学溶解，获得花状ZnO纳米棒团簇；(4)将四角元器件基底焊在元器件上并对乙醇进行气敏性能的测试。该方法制备的气敏材料对乙醇具有很高的灵敏度以及很低的检测极限。本发明操作简便，反应条件温和，可用于大规模的制备气敏传感器元器件，适用于工业化生产。

主权项

一种对乙醇敏感的薄膜气敏材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）气体传感器四角元器件基底的清洗：依次用丙酮、乙醇、去离子水超声清洗；（2）在气体传感器四角元器件基底表面溅射氧化锌薄膜：采用射频电源溅射氧化锌陶瓷靶，溅射气体为纯氩气；（3）配制生长花状氧化锌纳米棒团簇的溶液；（4）对步骤（2）中所得气体传感器四角元器件基底在步骤（3）配制的溶液里在烘箱中分两步进行化学溶解，制备出花状氧化锌纳米棒团簇；（5）将所得气体传感器四角元器基底件焊接在元器件件上，并对乙醇进行气敏性能的测试。