| 发明名称 | 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 | ||
| 摘要 | 本实用新型是一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台，包括L型底座，在所述L型底座的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨，在所述L型底座的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨，在所述水平直线导轨上方通过滑块设置一个楔形块，在所述楔形块的斜面上设置一倒楔形工作台，所述倒楔形工作台的竖直面与所述竖直直线导轨接触。采用本实用新型技术方案独创的楔形结构，定位升降台小巧紧凑、可实现高精度上下方向定位，且具有较大的上下方向行程。 | ||
| 申请公布号 | CN203503632U | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201320551871.3 | 申请日期 | 2013.09.06 |
| 申请人 | 苏州凯欧机械科技有限公司 | 发明人 | 叶邦华 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 曹毅 |
| 主权项 | 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台，包括L型底座（1），其特征在于，在所述L型底座（1）的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨（2），在所述L型底座（1）的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨（3），在所述水平直线导轨（2）上方通过滑块（4）设置一个楔形块（5），在所述楔形块（5）的斜面上设置一倒楔形工作台（6），所述倒楔形工作台（6）的竖直面与所述竖直直线导轨（3）接触。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市东吴北路31号 | ||