基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器

摘要

本发明涉及气敏传感器领域，具体是一种基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器。解决了现有气体传感器工作温度高，功耗大且不能在无线无源的环境下进行食品药品的变质检测问题。所述传感器是结合低温共烧陶瓷（LTCC）技术和薄膜技术而加工得到的，结构上主要包括三层：供加热与测温于一体的铂电极层、LC导电连接层和供无线无源检测的测试电极与电感线圈层。测试电极表面附着采用独特的加工工艺制备的SWNT/ZnO气味敏感薄膜。利用LC谐振传感原理，使传感器实现了在无线无源的环境下对气体的检测。本发明结构简单、成本低，具有灵敏度高、低功耗、高温稳定性和工作温度低的显著特点，利于实现元件的集成化、小型化。

主权项

一种基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器，其特征在于：采用低温共烧陶瓷技术烧结而成，自下而上包括三层：供加热与测温于一体的铂电极层、LC导电连接层以及供无线无源检测的测试电极与电感线圈层，三层结构的陶瓷基底为镂空结构，三层结构各自附有通孔使得三层结构形成LC回路，测试电极表面附着SWNT/ZnO气敏薄膜。