| 发明名称 | 基板处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种基板处理方法。该基板处理方法可以包括：使用化学溶液处理基板；在使用所述化学溶液处理所述基板后，使用纯水冲洗所述基板；以及使用有机溶剂处理所述基板，其中，所述基板处理方法进一步包括在所述化学溶液处理和所述有机溶液处理之间用疏水膜涂覆所述基板。 | ||
| 申请公布号 | CN103681236A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201310384963.1 | 申请日期 | 2013.08.29 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 李康奭;李载明;李福圭;李龙熙;李镇福 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 杨生平;钟锦舜 |
| 主权项 | 一种基板处理方法，包括：使用化学溶液处理基板；在使用所述化学溶液处理所述基板后，使用纯水冲洗所述基板；以及使用有机溶剂处理所述基板；其中，所述基板处理方法进一步包括：在所述化学溶液处理和所述有机溶液处理之间用疏水膜涂覆所述基板。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道天安市 | ||