镍酸镧陶瓷靶材的制备技术

摘要

本发明涉及一种金属氧化物陶瓷靶材的制备技术，尤其是镍酸镧金属氧化物陶瓷靶材的制备技术，该发明首先用传统固相反应法制备出高纯度的LNO陶瓷粉体，经单项轴压成型，得到LNO生坯，经脱胶及烧结成型制备出LNO陶瓷靶材。本发明在煅烧粉体和靶材烧结过程中，充入氧气，使Ni2O3在升温过程中不易脱氧生成NiO而影响LNO陶瓷粉体的纯度，从而制备出纯度高的LNO陶瓷靶材。

主权项

一种镍酸镧陶瓷靶的制备技术，其特征在于该制备技术的具体步骤如下：(1)镍酸镧(LNO)粉体的制备①以La2O3、Ni2O3氧化物粉末为起始原料，使摩尔比为1∶1，以无水乙醇为介质球磨24h，将物料于80℃恒温干燥箱中干燥；②将混好的物料在空气或氧气气氛中煅烧，温度为800～950℃，保温6～10h，然后自然降温至室温，得到LNO粉体；(2)生坯的制备③将制得的LNO粉体进行单轴压制成型，制成直径为30mm厚为4mm的LNO生坯，压力为10MPa；(3)靶材的烧结④将成型的LNO陶瓷在400℃保温1h脱胶，之后在氧气气氛中1000～1200℃烧结4h，得到所需的靶材。