三维工作台重复定位误差的校正方法

摘要

本发明提供一种三维工作台重复定位误差的校正方法，包括：在z轴方向安装图像采集系统，保持三维工作台在z轴方向位置不动，并且，保持图像采集系统的安装位置和拍摄角度均不变；在控制主机控制下，三维工作台在XY平面水平移动至P1点；图像采集系统采集P1点的图像P1；当需要进行重复定位操作时，控制主机再次发送在XY平面移动至P1点的命令；图像采集系统采集再次定位后实际到达点的图像P2；采用快速图像匹配方法计算图像P1和图像P2的像素位置偏移(Δa，Δb)，根据图像大小转换成位置偏移(Δx，Δy)；根据位置偏移得到位置补偿指令，进而进行位置补偿，完成重复定位误差的校正。具有成本低、重复定位误差校正精度高的优点。

主权项

一种三维工作台重复定位误差的校正方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，建立三维直角坐标系XYZ，该三维直角坐标系的原点为三维工作台的表面中心，X轴和Y轴所在XY平面为所述三维工作台的表面，z轴与所述三维工作台表面垂直；S2，在z轴方向安装图像采集系统，并改变图像采集系统到所述三维工作台的距离，使所述图像采集系统所采集到的XY平面图像的清晰度满足要求，然后，保持所述三维工作台在z轴方向位置不动，并且，保持图像采集系统的安装位置和拍摄角度均不变；S3，控制主机向运动控制系统发送移动至目标位置点(x，y)的控制指令，在所述运动控制系统带动下，所述三维工作台在XY平面水平移动至P1点；所述图像采集系统采集P1点的图像P1，并将采集到的图像P1发送到所述控制主机；S4，当需要进行重复定位操作时，控制主机向运动控制系统再次发送移动至目标位置点(x，y)的控制指令，在所述运动控制系统带动下，所述三维工作台在XY平面水平移动至P2点；所述图像采集系统采集P2点的图像P2，并将采集到的图像P2发送到所述控制主机；S5，所述控制主机采用快速图像匹配方法计算图像P1和图像P2的像素位置偏移(Δa，Δb)，根据图像大小转换成位置偏移(Δx，Δy)；根据位置偏移得到位置补偿指令，进而进行位置补偿，完成重复定位误差的校正。