压电悬臂梁式微型电场传感器

摘要

本发明提供了一种压电悬臂梁式微型电场传感器。该压电悬臂梁式微型电场传感器包括：基底；以及传感器敏感结构，包括在所述基底上依次形成的绝缘层、下驱动电极层、压电材料层、上驱动电极层和感应电极层，以形成具有叉指式结构的两组多个交错悬臂梁；其中，当向所述下驱动电极层和所述上驱动电极层之间施加驱动电压时，所述压电材料层使一组悬臂梁的自由端分别相对于另一组悬臂梁上下振动以产生与要检测的电场相对应的电流，并由感应电极层输出该电流。本发明中，传感器的压电驱动层与其他结构层连接采用MEMS工艺，结构简单，体积小、功耗低、可批量制造。

主权项

一种压电悬臂梁式微型电场传感器，包括：基底；以及传感器敏感结构，形成在所述基底上，包括具有叉指式结构的两组多个交错悬臂梁。