一种金属纳米结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属纳米结构的制备方法，包括以下步骤：（1）制作掩模板；（2）提供清洁干燥的基板，并在基板上均匀涂覆正性紫外光刻胶，前烘，使正性紫外光刻胶固化，形成光刻胶基板；（3）将所述掩模板叠在所述光刻胶基板上，经紫外线下曝光、显影、去残胶并坚膜后得到带有所述纳米结构图形形状凹槽的成型模具；（4）采用化学合成法在所述成型模具中沉积金属；（5）将所述沉积了金属的成型模具浸泡在丙酮溶液中，超声去胶，得到所述纳米结构图形的金属纳米结构。本发明的制备工艺简单，效率高；制得的金属纳米结构形状、大小、位置均可精确控制，有效地提高了金属纳米结构材料的光萃取效率和光吸收效率。

主权项

一种金属纳米结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）提供清洁的衬底，并在衬底上制作所需的纳米结构图形，形成掩模板，所述衬底上有图形的部位对紫外线透光；（2）提供清洁干燥的基板，并在基板上均匀涂覆正性紫外光刻胶，前烘，使正性紫外光刻胶固化，形成光刻胶基板；（3）将所述掩模板叠在所述光刻胶基板上，经紫外线下曝光、显影、去残胶并坚膜后得到带有所述纳米结构图形形状凹槽的成型模具；（4）采用化学合成法在所述成型模具中沉积金属；（5）将所述沉积了金属的成型模具浸泡在丙酮溶液中，超声去胶，得到所述纳米结构图形的金属纳米结构。