用于准分子激光器的热交换器

摘要

本发明公开了一种热交换器，适用于气体激光器，尤其适用于准分子激光器，所述热交换器的冷却管道采用椭圆管，且所述热交换器的环形肋外径沿所述热交换器的主轴方向变化，两端外径较小，中间区域外径较大。本发明提供的变外径环形肋椭圆管热交换器能有效提高其换热性能，降低气体循环阻力，提高放电区气体流速及均匀性。

主权项

一种用于准分子激光器的热交换器，其特征在于，所述热交换器的冷却管道采用椭圆管，且所述热交换器的环形肋外径沿所述热交换器的主轴方向变化。