包括含光致生酸剂的端基的聚合物、光刻胶及制备方法

摘要

一种聚合物包含不饱和单体和式(I)链转移剂的聚合产物，所述不饱和单体包括酸可脱保护单体、碱可溶性单体、含内酯单体、光酸产生单体或包含至少一种上述单体的组合；式(I)中，Z是y价C1-20有机基团，L是杂原子或单键，A1和A2各自独立地是含酯或不含酯的并且是氟化或非氟化的，A1和A2独立地是C1-40亚烷基、C3-40环亚烷基、C6-40亚芳基或C7-40亚芳烷基，并且A1在与硫连接点的α位包含腈、酯或芳基取代基，X1是单键，–O-,-S-,–C(=O)-O-,-O-C(=O)-,-O-C(=O)-O-,–C(=O)-NR-,-NR-C(=O)-,-NR-C(=O)-NR-,-S(=O)2-O-,-O-S(=O)2-O-,-NR-S(=O)2-,或-S(=O)2-NR-，其中R是H,C1-10烷基,C3-10环烷基或C6-10芳基，Y-是阴离子基团，G+是金属或非金属阳离子，以及y是1-6的整数。

主权项

1.一种聚合物，其包含不饱和单体与式(I)的链转移剂的聚合产物，所述不饱和单体包括：酸可脱保护单体、碱溶性单体、含内酯单体、光致生酸单体，或包括至少一种上述单体的组合，其中在式(I)中：Z是y价C_1-20有机基团，L是杂原子或单键，A¹和A²各自独立地是含酯或不含酯的并且是氟化或非氟化的，A¹和A²独立地是C_1-40亚烷基、C_3-40环亚烷基、C_6-40亚芳基或C_7-40亚芳烷基，并且A¹在与硫连接点的α位包含腈、酯或芳基取代基，X¹是单键，-O-，-S-，-C(=O)-O-，-O-C(=O)-，-O-C(=O)-O-，-C(=O)-NR-，-NR-C(=O)-，-NR-C(=O)-NR-，-S(=O)₂-O-，-O-S(=O)₂-O-，-NR-S(=O)₂-或-S(=O)₂-NR，其中R是H，C_1-0烷基、C_3-10环烷基或C_6-10芳基，Y^-是阴离子基团，G⁺是金属或非金属阳离子，以及y是1至6的整数。