发明名称 |
薄膜晶体管 |
摘要 |
本发明是有关于一种薄膜晶体管,包括基板、第一栅极层、绝缘层、第一源/漏极层、第二源/漏极层、半导体层、保护层以及第二栅极层。第一栅极层配置于基板上。绝缘层配置于第一栅极层上。第一源/漏极层配置于绝缘层上。第二源/漏极层配置于绝缘层上。半导体层配置于绝缘层上,并且覆盖第一源/漏极层以及第二源/漏极层。保护层配置于绝缘层上,并且覆盖半导体层。第二栅极层配置于保护层上。第二栅极层利用贯孔与第一栅极层连接,以使两者接触并且保持在同一电位。 |
申请公布号 |
CN103681873A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310220993.9 |
申请日期 |
2013.06.03 |
申请人 |
元太科技工业股份有限公司 |
发明人 |
林冠峄;舒芳安;蔡耀州;余宗玮 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,其特征在于其包括:基板;第一栅极层,配置于该基板上;绝缘层,配置于该第一栅极层上;第一源/漏极层,配置于该绝缘层上;第二源/漏极层,配置于该绝缘层上;半导体层,配置于该绝缘层上,并且覆盖该第一源/漏极层以及该第二源/漏极层;保护层,配置于该绝缘层上,并且覆盖该半导体层;以及第二栅极层,配置于该保护层上,其中该第二栅极层利用贯孔与该第一栅极层接触,并且保持在同一电位。 |
地址 |
中国台湾新竹市科学工业园区力行一路3号 |