一种基于集成电路标准样片的校准装置及方法

摘要

一种基于集成电路标准样片的校准装置，包括集成电路标准样片、校准接口板及校准线缆、直流矩阵开关、射频矩阵开关；其优点是：（1）扩展了标准样片的应用范围，实现了标准样片在集成电路测试系统全通道校准中的应用；（2）采用了矩阵开关作为主架构，保证了装置的可扩展性和兼容性；（3）该装置是基于标准样片实现对集成电路测试系统的量值传递，无需配备大量的专测设备，很大程度降低了研制费用；（4）集成度高，便携性能好，运输便捷，能够很好地满足当前集成电路测试系统现场校准的需求。

主权项

一种基于集成电路标准样片的校准装置，其特征在于：本发明一种基于集成电路标准样片的校准装置，包括集成电路标准样片、校准接口板及校准线缆、直流矩阵开关、射频矩阵开关；其中，标准样片通过测试夹具置于校准接口板上；直流矩阵开关通过校准线缆一端连接标准样片测试管脚接口，另一端连接直流参量测量接口，用于直流参量测量时标准样片与测试通道间的切换；射频矩阵开关通过校准线缆连接交流参量测量接口，用于交流参量测量时标准样片与测试通道间的切换；通过改变直流矩阵开关和射频矩阵开关的拓扑结构，使矩阵开关连接至标准样片待测管脚的行，依次切换至矩阵开关的所有列，从而实现标准样片待测管脚与测试系统的全通道连接。