发明名称 |
一种掩模组件 |
摘要 |
本发明公开了一种掩模组件,包括掩模框和掩模板,掩模板固定于掩模框上,掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域,其特征在于:蒸镀孔由多边形开口及设置在多边形开口边角处的补偿开口构成,补偿开口构成多边形开口的外延结构,掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。本发明所提供的掩模组件,蒸镀孔由多边形开口及补偿开口组成,补偿开口的设置提高了蒸镀孔的开口率,从而提高掩模组件的质量。 |
申请公布号 |
CN103668055A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310703688.5 |
申请日期 |
2013.12.20 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;魏志浩;莫松亭;刘学明 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种掩模组件,包括掩模框和掩模板,所述掩模板固定于所述掩模框上,所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域,其特征在于:所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成,所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构,所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |