MEMS麦克风

摘要

本发明提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底以及设置在基底上的电容系统；电容系统包括背板、与背板相对的振膜以及位于背板和振膜之间的绝缘间隙，振膜或背板上设有位于绝缘间隙内的至少一个绝缘支撑件，绝缘支撑件在该MEMS麦克风通电工作时与背板或振膜抵接，从而将振膜分为至少两个振动单元，任一振动单元均与背板形成电容。MEMS麦克风工作时，绝缘支撑件与背板或振膜抵接从而将振膜分成至少两个振动单元，该绝缘支撑件使得大面积的振膜和背板制作成为可能，从而能够提高MEMS麦克风的整体灵敏度和信噪比，同时这种结构的MEMS麦克风制作工艺简单，生产成本低廉。

主权项

一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统；所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜所述背板与振膜分隔一定距离并形成绝缘间隙，其特征在于：所述振膜或背板上设有位于所述绝缘间隙内的至少一个绝缘支撑件；在该MEMS麦克风不工作时，所述绝缘支撑件与所述背板或振膜相隔一定距离，在该MEMS麦克风通电工作时，所述绝缘支撑件与所述背板或振膜抵接，从而将所述振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容。