一种化学溶液动态制备Re_xCe_1-xO_y缓冲层长带的方法

摘要

本发明公开了一种化学溶液动态制备RexCe1-xOy缓冲层长带的方法，其具体作法是：a、湿膜的制备：按稀土与铈的离子比配制硝酸盐混合物，并将其溶解在高分子有机溶剂中合成胶体。将胶体装入储液筒内，将基带安置在牵引带上，由步进电机带动前进，胶体由上置步进电机带动下压通过狭缝涂覆口涂覆于基带上，形成湿膜；b、干膜的制备：将涂覆好的湿膜通过恒温红外干燥区域，形成干膜；c、分解成相：将干膜通过长带气氛多区控温炉,在各温区H2/Ar还原气氛充足的保护下，通过350oC－520oC分解区，然后通过1000oC－1200oC结晶区，最后通过降温区，随炉冷却，即可制得涂层导体RexCe1-xOy缓冲层长带。该方法制备工艺与物理法相比简单易行、成本低、不污染环境，可获得任意长度临界厚度达到150-200nm的RexCe1-xOy缓冲层长带。

主权项

一种化学溶液动态制备RexCe1‑xOy缓冲层长带的方法，其特征依次由以下步骤构成： a、湿膜的制备：按稀土与铈的离子比x：1－x，0.01≤x≤0.5配制硝酸盐混合物，并将其溶解在高分子有机溶剂中合成胶体，将胶体装入储液筒内，将基带安置在牵引带上，由步进电机在0.1 m/h－10 m/h速度内带动前进，所述高分子有机溶剂为聚甲基丙烯酸或丙烯酸与N‑N二甲基甲酰胺的聚合物，胶体也由上置步进电机在0.5 mL/h－2 mL/h转速下带动下压通过狭缝涂覆口涂覆于基带上，形成湿膜，狭缝涂覆出口大小、狭缝高度可调节，由电脑可精确控制步进电机下压速度、引带速度，这些参数共同决定湿膜的厚度与均匀连续性； b、干膜的制备：将涂覆好的湿膜以0.1 m/h－0.5 m/h速率通过恒温红外干燥区域，形成干膜；恒温红外干燥区域温度在50oC－180oC范围内，由电脑控温设定，并由带移动速度大小来控制经过干燥区域的时间；c、分解成相：将干膜以0.1 m/h－10 m/h速度通过长带气氛多区控温炉, 在各温区H2/Ar还原气氛充足的保护下，以0.2oC∕min－0.5oC∕min速度通过350oC－520oC分解区，然后以0.25 m/h－1 m/h速度通过1000oC－1200oC结晶区，最后以1m/h－10 m/h速度通过降温区，随炉冷却；气氛多区控温炉长16米，分30个精确控温区，可由电脑精确监控，高温下温度误差在1oC之内；同时通过电脑控制两端牵引步进电机转速来控制引带速度，确定基带在各温区通过的时间。