硅片切割液中水溶性切割液的回收方法

摘要

本发明公开了一种硅片切割液中的水溶性切割液的回收方法，通过对硅片切割废液的搅拌、分离、脱色、过滤及真空状态下蒸发回收利用水溶性切割液，本方法操作方便，且通过该方法加工的水溶性切割液利用率高，提高硅片质量和生产效率，实现TTV10μm以下的高精度加工，切割硅片合格率达98%以上，金刚砂线1mm/min高速切割时使用本方法回收的水溶性切割液，生产能力比传统机型利用悬浮砂浆切割方式生产提高2倍以上；另外，本发明不仅提高了企业经济效益，同时减少了聚乙二醇、碳化硅带来的污染，大大降低了CO的排放量，保护了环境资源。

主权项

一种硅片切割液中的水溶性切割液的回收方法，其特征在于，包括如下步骤：A、将硅片切割废液搅拌均匀，再经离心沉降分离器分离出固体组分和半成品切割液；B、固体组分通过压滤机进行分离，分离出硅粉及半成品切割液； C、将步骤B过滤得到的半成品切割液并入半成品切割液中，再经压滤机分离，得到硅粉及半成品水溶性切割液；  D、提取水溶性切割液，将步骤C中收集得到的半成品水溶性切割液进行脱色处理；E、对脱色后的半成品水溶性切割液通过助滤剂进行过滤；F、对过滤后的半成品水溶性切割液进行树脂交换，将半成品水溶性切割液中的金属液态离子分离出来；G、对步骤F处理后的半成品水溶性切割液进行蒸发脱水，得到水溶性切割液；步骤A中硅片切割废液搅拌转速为150‑300r/min；所述离心沉降分离器的转速为700‑900r/min；所述压滤机的压力为0.6‑0.8MPa；采用活性碳对半成品水溶性切割液进行脱色处理，活性碳：半成品水溶性切割液=5.3‑6.3:1000，按重量比计；所述半成品水溶性切割液进行蒸发脱水，在真空状态下进行，压力为0.09‑0.1MPa,温度为65度‑70度，蒸汽压力为：0.1MPa；步骤F处理后的半成品水溶性切割液的电导小于5µS/cm，pH为6.8；步骤E中对脱色后的半成品切割液通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将半成品切割液流过，对半成品切割液进行过滤。