薄膜晶体管基板及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管基板及其制造方法，包括复数个薄膜晶体管，包括：一基板以及复数个薄膜晶体管，各该薄膜晶体管包括：一栅极，设置于该基板上；一栅极保护层，设置于该基板上，并覆盖该栅极；一金属氧化物主动层，设置于该栅极保护层上；一金属氧化物保护层，设置于该金属氧化物主动层上；一蚀刻终止层，设置于该金属氧化物保护层上，其中一第一贯孔及一第二贯孔贯穿该蚀刻终止层及该金属氧化物保护层；一源极及一漏极，分别设置于该第一贯孔及该第二贯孔内，并电性连接该金属氧化物主动层。

主权项

一种薄膜晶体管基板的制造方法，包括下列步骤：提供一基板；形成一栅极于该基板上；形成一栅极保护层于该基板上，并覆盖该栅极；形成一金属氧化物层于该栅极保护层上；形成一绝缘材料层于该金属氧化物层上；移除部份的该金属氧化物层及部份的该绝缘材料层，而分别形成一金属氧化物主动层及一金属氧化物保护层；形成一第一贯孔及一第二贯孔，该第一贯孔及该第二贯孔裸露出该金属氧化物主动层的上表面，并贯穿该金属氧化物保护层；以及分别设置一源极及一漏极于该第一贯孔及该第二贯孔内，用以电性连接该金属氧化物主动层。